三氟化磷

2021-12-31 10:27   510次浏览
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三氟化磷(PF3)

化学式PF3中文名称三氟化磷英文名称Phosphorus TrifluorideCAS No.7783-55-3分子量87.969充装量

应用发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。产品规格≥99.99%

百科:

三氟化磷是一种无机化合物,其化学式为PF3,在常温常压下为无色无味的有毒气体,液态时为无色透明液体,空气中不太发烟,相当稳定,加热时与氢反应生成PH3,能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外,不腐蚀玻璃。

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